Titanová rozšířená síť s otvory 2*3mm s Ir-Ta povlakem pro pokovování polovodičů

2*3mm děrovaná titanová expandovaná síť s Ir-Ta povlakem pro polovodičové pokovování je vyrobena z komerčního čistého titanového plechu ASTM B265 Grade 1. Na rozdíl od lisované sítě vytváří rozšířená konstrukce souvislý kosočtverečný -otvor-zde specifikovaný jako 2 mm × 3 mm- bez ztráty materiálu nebo svařovaných průniků, čímž je zachována vrozená odolnost titanového substrátu proti korozi a strukturální integrita. Expanzní krok orientuje prameny pod řízeným úhlem, čímž se zvětší efektivní povrchová plocha při zachování stejnoměrného rozložení proudu přes čelo anody. U aplikací polovodičového pokovování se tato geometrie přímo promítá do stabilního toku elektrolytu elektrodou, minimalizovaného zachycování bublin a konzistentních siločar elektrického pole, což vše je kritické pro dosažení sub{13}}stejnoměrnosti mikronového pokovování na substrátech na úrovni destiček{14}}. Po expanzi je síťovina podrobena přísnému alkalickému odmašťování a leptání kyselinou, aby se odstranily nativní oxidy, čímž se zajistí mechanické ukotvení pro následný povlak smíšeného-oxidu kovů.

Povlak oxidu iridia-tantalového (Ir{1}}Ta) se nanáší tepelným rozkladem prekurzorových solí, čímž vzniká rozměrově stabilní anoda (DSA) speciálně navržená pro vývoj kyslíku v elektrolytech na bázi kyseliny sírové -obsahujících stopové chloridy-přesná chemie*, se kterou se setkáváme v pokročilých polovodičových lázních{3 mm a pokovování mědí{4} Titan s povlakem Ir-Ta pro polovodičové pokovování poskytuje nadměrný potenciál vývoje kyslíku již od 1,385 V oproti referenční elektrodě se síranem rtuťnatým, čímž přímo snižuje napětí článku a spotřebu energie při operacích pulzního periodického zpětného pokovování (PPR). Složení Ir-Ta vykazuje vynikající odolnost vůči anodickému rozpouštění při pulzech s vysokou-proudovou-hustotou, která je běžná u měděných damascénských procesů, kde by povlaky na bázi ruthenia{12}}utrpěly zrychlenou degradací.

Kromě toho složka oxidu tantalu stabilizuje strukturu povlaku a prodlužuje provozní životnost na více než 36 měsíců při typických cyklech pokovování polovodičů-do{2}}napěnění. Každá šarže sítě je kontrolována pomocí automatizovaných kamerových systémů během fází zploštění a dokončovací práce, přičemž se potvrzuje tolerance tloušťky v rozmezí ±0,05 mm a profily bez otřepů-hran kompatibilní s automatizovanou manipulací s nástroji pro pokovování. Výsledkem je anoda bez kontaminace-, která zachovává rozměrovou stabilitu, eliminuje uvolňování částic a umožňuje opakovatelné, vysoce čisté pokovování-, které je vyžadováno pro pokročilou metalizaci propojení.

Vynikající odolnost proti korozi v chloridech-obsahujících kyselinu sírovou

Složka oxidu tantalu stabilizuje matrici povlaku proti anodickému působení v elektrolytech obsahujících stopové chloridy, což je standardní přísada v pokročilých chemii pokovování mědi. Titanový substrát zůstává plně pasivován, čímž se eliminuje riziko kontaminace mědí z rozpuštěného obecného kovu.

Minimalizované zachycování bublin a zlepšený transport hmoty

Otevřená síťová struktura umožňuje rychle se oddělit uvolněným bublinám kyslíku od povrchu elektrody, což snižuje odpor mezní vrstvy a udržuje konzistentní tok elektrolytu. Alternativy lisovaného pletiva nebo pevných desek vykazují vyšší zadržování plynu, což vede k lokalizovanému stínění a nestejnoměrnosti pokovování-.

Provoz bez kontaminace-

Titanový substrát i povlak Ir{0}}Ta jsou za podmínek pokovování inertní. Do elektrolytu se neuvolňuje žádné olovo, antimon ani jiné rozpustné látky, což eliminuje potřebu periodické výměny anodového vaku a snižuje defekty částic u prvků pod 10 μm.

 

Tolerance tloušťky a okraje bez-otřepů

 

Zploštění po roztažení a konečná úprava jsou řízeny pomocí automatizovaných kamerových systémů, které udržují tloušťku ±0,05 mm nominální hodnoty a zajišťují, že všechny okraje pramenů jsou zbaveny otřepů. To eliminuje mechanické poškození membránových separátorů nebo nástrojů pro manipulaci s destičkami.

Prodloužená životnost

Zrychlené testování životnosti (ALT) pod 2 A/cm² v 1,5 M H₂SO₄ trvale překračuje 36 měsíců nepřetržitého provozu, přičemž degradace povlaku je indikována spíše nárůstem napětí než katastrofickým selháním, což umožňuje předvídatelné plánování údržby.

Přizpůsobitelné geometrické parametry

 

I když je specifikován jako otvor 2 mm × 3 mm, proces rozšířené sítě umožňuje nezávislou kontrolu nad šířkou pramene, úhlem otevření a procentem otevřené plochy, což umožňuje optimalizaci pro konkrétní návrhy pokovovacích nástrojů a požadavky na průtok kapaliny bez nákladů na přestavbu.

• Damascénská měď pro logické uzly – Sestavení anody ve 300mm pokovovacích nástrojích pro prázdné-volné dno-výplň výkopů pod 10nm; expandovaná síť zajišťuje rovnoměrné rozložení proudu pod průběhy PPR.

• Přes-silicon via (TSV) plnění – Anoda s plným-průřezem- ve vertikálních komorách s poměrem stran 10:1–20:1; udržuje stabilní vývoj kyslíku během prodloužených cyklů s vysokou-proudovou-hustotou.

• Redistribuční vrstva (RDL) na panelu-balení – systémy horizontálního pokovování; Otvory 2×3 mm umožňují nepřetržitou recirkulaci elektrolytu pro<3% thickness variation across 600mm substrates.

• Under-nárazová metalizace (UBM) pro flip-čip – Segmentovaná kontrola proudu v nástrojích pro selektivní pokovování; povlak odolává periodickým reverzním čisticím cyklům bez kolísání výkonu.

• Vnořená propojení trace substrátu (ETS) s vysokou-hustotou – vertikální kontinuální plotny (VCP); anodový panel se rozprostírá po celé šířce substrátu, čímž se minimalizuje-odtahování a eliminují se omezení údržby pevných desek.

• Zlato/nikl pro automobilová a energetická zařízení – provoz s vysokou-proudovou-hustotou (3–8 ASD); Nízký nadměrný potenciál snižuje zahřívání elektrolytu a zachovává stabilitu lázně pro hrbolky 20–100 μm.

• Elektrolytická úprava měděné folie- – kontinuální linky pro 6–18μm fólii; rozšířená síť umožňuje stejnoměrný proud napříč šířkou 1400 mm v pasivačních stupních na bázi chromu-.

• Renovace pokovovacího nástroje – Přímá náhrada za systémy Lam Research, Applied Materials, NEXX; Povrchová úprava Ir-Ta poskytuje prodloužené servisní intervaly oproti původním anodám na bázi ruthenia-.

Tel: 0917-3873009

Telefon: +86 18992731201

E-mail:zhangjixia@bjygti.com

Fax: 0917-3873009

Adresa: Ne. 195, Gaoxin Avenue, High{1}}Tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Čína

WhatsApp: +86 18992731201

Populární Tagy: 2*3mm otvor titanová expandovaná síť s ir{2}}ta povlakem pro pokovování polovodičů, Čína, dodavatelé, výrobci, přizpůsobené, použití, ceník, na prodej, skladem, vzorek zdarma, porézní materiál