Produkty
5 mikronové kazety s práškovým filtrem z nerezové oceli s rozhraním VCR 1/2".
Velikost: φ40*196,3mm
Přesnost filtru: 5 mikronů
Rozhraní: VCR1/2"
Práškové filtrační kazety z nerezové oceli s rozhraním VCR 1/2" jsou kritickými součástmi při výrobě polovodičů, které jsou speciálně navrženy pro systémy distribuce plynu s vysokou-čistotou. Tyto filtrační kazety využívají pokročilou technologii spékání kovového prášku k dosažení přesné filtrace a účinně zachycují částice o velikosti až 5 mikronů. To zajišťuje dodávku ultra-čistých procesních plynů, které jsou nezbytné pro zachování integrity polovodičových tkanin VCR. 1/2" rozhraní poskytuje nepropustné-těsnění kov{11}}na-kov a splňuje přísné požadavky polovodičových prostředí, kde i nepatrné nečistoty plynu mohou vést k významným závadám v mikroelektronických zařízeních. Jejich robustní konstrukce z nerezové-nerezové oceli zaručuje odolnost a dlouhodobou{15}spolehlivost v extrémních podmínkách.
V polovodičových aplikacích hrají tyto filtrační vložky zásadní roli při ochraně následného zařízení, jako jsou regulátory hmotnostního průtoku a přesné ventily, před kontaminací částicemi. Bezproblémovou integrací do stávajících vedení-plynu s vysokou čistotou zjednodušují instalaci a údržbu a zároveň minimalizují prostoje systému. Kombinace vysoké účinnosti filtrace, výjimečné chemické odolnosti a spolehlivého těsnění je činí nepostradatelnými pro zajištění konzistentní čistoty plynu a provozní účinnosti v pokročilých zařízeních na výrobu polovodičů.
Specifikace produktů

Materiál: 316L prášek
Velikost: φ40*196,3mm
Přesnost filtru: 5 mikronů
Rozhraní: VCR1/2"
Technické: Slinování
Vlastnosti produktů

1. Ultra vysoká čistota a zadržování částic
- Konstrukce ze slinuté nerezové oceli (typicky 316L) poskytuje čisté, celokovové filtrační médium bez pojiv, lepidel nebo organických zbytků.
- Schopný zadržovat submikronové částice až do velikosti 0,5 μm, čímž zabraňuje mikrokontaminaci v proniknutí do procesních komor nebo plátků.
- Žádné vylučování částic, což zajišťuje stabilní počet částic při dlouhodobém používání.
2. Robustní mechanická a tepelná stabilita
- Celokovové provedení odolává vysokému tlaku, vysoké teplotě a častým tepelným cyklům.
- Zachovává mechanickou integritu za podmínek vibrací, zpětného toku nebo tlakových pulzací- běžných v systémech distribuce plynu.
- Kompatibilní se sledováním tepla pro vysokoteplotní plynovody.

3. Obnovitelné a regenerovatelné
- Filtrační prvky lze zpětně propláchnout, vyčistit ultrazvukem nebo vypálit ve vakuu, což umožňuje dlouhou životnost ve srovnání s polymerovými nebo keramickými filtry.
- Typický životní cyklus se prodlužuje na 5–10násobek životnosti jednorázových PTFE nebo PVDF filtrů, čímž se minimalizují prostoje a celkové náklady na vlastnictví.
4. Chemická kompatibilita a odolnost proti korozi
- 316Nerezová ocel L si zachovává pasivní oxidový film v prostředích obsahujících chlorid, fluor, čpavek a kyselé plyny.
- Nereaktivní povrch zabraňuje extrakci kovových iontů nebo změnám složení plynu.
aplikací
1. Distribuční linky UHP plynu
- Instaluje se do velkoobjemových zásobníků plynu, plynových skříní a panelů VMB/VMP, odfiltruje částice před vstupem plynu do MFC nebo procesních nástrojů.
- Používá se v N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH3, CF₄ a dalších potrubích pro vysoce čistý plyn napájející kritické procesy.
2. Ochrana vstupu regulátoru hmotnostního průtoku (MFC).
- Zabraňuje kontaminaci částicemi a opotřebení ventilů u přesných regulátorů hmotnostního průtoku.
- Zlepšuje dlouhodobou stabilitu toku a konzistenci kalibrace MFC.
3. Vstupy procesní komory a nástrojového plynu
- Zajišťuje dodávku bez částic a vlhkosti do CVD, ALD, leptací a difúzní pece.
- Používá se v řadách SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃ a TEOS, kde je čistota rozhodující pro kvalitu a výtěžnost filmu.
4. Speciální plynové a prekurzorové systémy
- Pro plyny s organickými kovy nebo halogeny, kde je rozhodující chemická inertnost a teplotní stabilita.
- Často se umisťuje za vaporizéry nebo bublinky k zachycení zkondenzovaných částic nebo kapiček.
Kontaktujte nás
Tel: 0917-3873009
Telefon: +86 18992731201
E-mail:zhangjixia@bjygti.com
Fax: 0917-3873009
Adresa: Ne. 195, Gaoxin Avenue, High{1}}Tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Čína
Whatsapp: +86 18992731201
Populární Tagy: 5 mikronové nerezové práškové filtrační kazety s vcr 1/2" rozhraními, Čína, dodavatelé, výrobci, přizpůsobené, použití, ceník, na prodej, skladem, vzorek zdarma, porézní materiál
-
Slinutý titanový kovový filtrZobrazit více> -
Titanová slinutá porézní deskaZobrazit více> -
SUS 316L práškový sintrovaný malý filtrační prvekZobrazit více> -
Porézní Ti prvky pro ochranný kryt snímače teploty a vlhk...Zobrazit více> -
40UM SS316L Sintered Metal Wire Mesh Filter CartridgeZobrazit více> -
Porézní titanový filtrační prvek se šestihrannou maticíZobrazit více>













