1um porézní titanová filtrační vložka pro polovodičové mokré zpracování

1um porézní titanová filtrační vložka pro polovodičové mokré zpracování poskytuje absolutní -zadržování částic v agresivních chemických prostředích, kde polymerové membrány bobtnají nebo degradují. Tento kovový práškový sintrovaný filtr, vyrobený z 99,4 % průmyslového vysoce- čistého titanového prášku za studena izostatickým lisováním a vysokoteplotním vakuovým sintrováním, dosahuje rovnoměrné mikroporézní struktury s porézností v rozsahu 30-40 % a úzkou distribucí velikosti pórů. Při dekarbonizační filtraci farmaceutické výroby API zachycuje 1μm sintrovaný titanový tyčový filtr jemné zbytky aktivního uhlí a jemné částice katalyzátoru z matečných louhů s vysokou-viskozitou, přičemž možnost opakovaného proplachování prodlužuje životnost několikanásobně nad rámec membránových alternativ. Výroba polovodičů mokrým-procesem integruje 1um titanové práškové slinuté filtry v chemických rozvodech pro proudy SC-1, SC-2, 49% HF a HNO₃, kde titanový substrát odolává důlkové korozi z prostředí bohatého na chloridy, které korodují nerezové oceli. Třída přesnosti 1 um odstraňuje submikronové částice obsahující křemík a kovové nečistoty, aniž by uvolňovaly částice, a zachovává čistotu filtrátu potřebnou pro zpracování plátků v nanometrovém měřítku.

Aplikace smyčky na úpravu vody s vysokou{0}}čistotou využívají 1um porézní titanové filtrační vložky pro polovodičové mokré zpracování jako konečnou bezpečnostní filtraci před ultrafiltrací a systémy EDI, kde slinutý prvek z titanového prášku odolává periodické sterilizaci ozonem a parním-cyklům-na místě až do 280 stupňů ve vlhkých podmínkách. Na rozdíl od polypropylenových hloubkových filtrů nebo PTFE membránových patron, které měknou nebo delaminují tepelným cyklem, si vakuově slinutá titanová matrice zachovává rozměrovou integritu v rozsahu pH 1-}14 a odolává rozdílovým tlakům až do 5,0 barů bez zhroucení struktury pórů. Smyčky CMP na leštění kalů v pokročilých továrnách používají 1μm titanové filtrační patrony po adsorpci pryskyřice{13}} k zachycení aglomerovaných abrazivních částic nadměrné velikosti při zachování upravené distribuce velikosti částic koloidního oxidu křemičitého nebo kalů ceru. Ne-charakteristika uvolňování částic a online regenerovatelnost prostřednictvím zpětného proplachování nebo čištění ultrazvukem umožňují opakované použití, čímž se snižuje frekvence výměny filtru a provozní náklady v nepřetržitém provozu na mokré stolici pro polovodiče.

Přesná filtrace – 1um porézní titanová filtrační patrona poskytuje absolutní-hodnocenou retenci částic v polovodičových linkách pro mokré zpracování, odstraňuje submikronové zbytky křemíku, kovové kontaminanty a gelové-částice z agresivních chemických látek včetně HF, HNO₃, SC-1 a SC-2 bez průniku médií.

Odolnost proti korozi v extrémních rozmezích pH – Tato slinutá titanová filtrační patrona je vyrobena z vyšší nebo rovné 99,4 %-čistoty titanového prášku prostřednictvím vakuového slinování a odolává prostředí s pH 1–14, odolává důlkové korozi a chloridům, které rychle degradují nerezové nebo Hastelloy filtry v systémech distribuce chemikálií na mokré stolici.

Vysoká tepelná stabilita pro horké cykly DIW a SIP – Slinutý filtr z titanového prášku vydrží nepřetržitý provoz při 280 stupních ve vlhkých podmínkách, podporuje sterilizaci párou-na{2}}místě (SIP) a oplachování horkou deionizovanou vodou bez změkčování, delaminace nebo vyluhování extrahovatelných látek, které jsou běžné u polypropylenových nebo PTFE membránových patron.

No particle shedding – Unlike depth filters or wound cartridges, the rigid sintered metal structure eliminates fiber release or media migration, maintaining ultrapure filtrate essential for nanometer-scale wafer fabrication where any foreign particle >0,5μm způsobuje fatální závady zařízení.

Vynikající regenerovatelnost zpětným proplachem – 1um porézní titanová filtrační vložka podporuje online zpětné proplachování, ultrazvukové čištění a regeneraci kyselin, odstraňuje zachycené pevné částice a obnovuje počáteční průtoky během desítek cyklů opětovného použití, což výrazně snižuje frekvenci výměny vložek a provozní náklady ve velkoobjemových závodech.

Vysoká tolerance diferenciálního tlaku – Vakuově-slinutá titanová matrice zachovává integritu struktury pórů při rozdílu tlaků až 5,0 barů, čímž překonává membránové filtry, které se zhroutí nebo prasknou během rázových proudů nebo ucpání v zařízeních pro zpracování polovodičů za mokra.

Rozvody chemikálií vysoké{0}}čistoty v továrnách na výrobu plátků – 1um slinutá titanová filtrační kazeta s jednoduchým titanovým filtrem odstraňuje a odstraňuje submikronový {-mokrý -křemík} prachové kovové částice a částice procesory.

Recirkulační smyčky ozonizované deionizované vody (DIO₃) – Používá se jako bezpečnostní filtrace v nástrojích pro čištění po{0}}CMP a odstraňování fotorezistu. 1um porézní titanová patrona odolává koncentracím ozónu až 20 ppm a nepřetržitému vystavení UV záření, kdy polypropylenové filtry křehnou a PTFE membrány ztrácejí mechanickou integritu.

CMP slurry polishing loops – final polish and bulk removal – Positioned after slurry blending tanks and before dispense arms for colloidal silica, ceria, or alumina slurries. The sintered titanium filter traps over-sized agglomerates (>1um) při zachování přirozené distribuce velikosti částic a potenciálu zeta, zachování konzistentní rychlosti odstraňování a v rámci -nerovnoměrnosti plátků- (WIWNU).

Následná-filtrace vody v čistícím boxu s kartáčem CMP – Instaluje se do potrubí na deionizovanou vodu napájející PVA kartáče, aby po leštění plátků znovu zachytily zbytkové abrazivní částice a ionty mědi. Absolutní hodnocení 1um zabraňuje mikroškrábancům na měděných a nízko{3}}k dielektrických površích během kontaktu s kartáčem.

Finální bezpečnostní filtr leštící smyčky ultračisté vody (UPW) – Umístěn před ventily pro místo-{1}}použití (POU) ve stanicích pro mokré leptání a oplachování. Filtrační patrona s titanovým práškem pracuje v horkém UPW (80 stupňů) a periodických parních sterilizačních cyklech bez vylučování částic, přičemž udržuje kontrolu bakterií a počet částic pod požadavky třídy 1.

Bezproudové niklové a kobaltové pokovovací lázně pro bariérové/zárodečné vrstvy – Integrované do čisticích lišt pokovovací lázně k odstranění částicové kontaminace ze stabilizátorů a komplexotvorných činidel. Titanová matrice odolná vůči korozi- funguje při zvýšených teplotách (70–90 stupňů) a alkalickém pH bez vodíkového křehnutí nebo kontaminace lázně.

Tel: 0917-3873009

Telefon: +86 18992731201

E-mail:zhangjixia@bjygti.com

Fax: 0917-3873009

Adresa: Ne. 195, Gaoxin Avenue, High{1}}Tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Čína

Whatsapp: +86 18992731201

Populární Tagy: 1um porézní titanová filtrační patrona pro polovodičové mokré zpracování, Čína, dodavatelé, výrobci, přizpůsobené, použití, ceník, na prodej, skladem, vzorek zdarma, porézní materiál